一种全自动涂胶机的旋涂机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种全自动涂胶机的旋涂机构，涉及涂胶机技术领域，包括：工作箱、控制面板、旋涂组件、夹具组件、支撑架、第一驱动箱、第二驱动箱；工作台正面一侧固定连接有控制面板；工作箱内部中间固定连接有旋涂组件；有益效果在于：通过第二电机带动第三齿轮旋转，第三齿轮可带动齿条旋转，使圆球在圆球腔内部移动，使圆球带动旋转杆呈倾斜状态，同时也使模具呈倾斜转态，从而可对模具的倾斜角度进行调节；从而倾斜的模具可利用所述涂料的重力加快所述涂料向所述基板的边缘的运动，防止涂料在扩散至基板的表面的边缘之前就已经固化，从而在减小涂料的用量的同时不至于降低所述涂料在所述基板上的均匀度。
基本信息
专利标题 ：
一种全自动涂胶机的旋涂机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122144062.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-07
授权号 ：
CN216500445U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
唐伟东张阳芳周晓娟
申请人 ：
苏州杉树园半导体设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区浒墅关镇城际路21号2幢2101室
代理机构 ：
杭州知杭知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李桂芬
优先权 ：
CN202122144062.8
主分类号 ：
B05C13/00
IPC分类号 ：
B05C13/00 B05C5/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C13/00
操纵或夹持工件的方法，如对单个物体
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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