均流装置及湿法清洗设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种均流装置及湿法清洗设备，其中均流装置包括：至少两根套设在一起的均流管，相邻两根均流管之间形成均流空间，每根均流管的侧壁上设有多个出液口，相邻均流管的出液口朝向相反。本实用新型解决了清洗液因为出液口孔径存在偏差或者清洗液有压力波动而导致的均匀性差的问题。因为本实用新型提及的均流装置含有均流空间，所以从最内层的均流管流出的不均匀的清洗液还能再次在均流空间中再混合，再从最外层均流管的出液口均匀的流入清洗槽，从而较好的解决清洗液均匀性差的问题。
基本信息
专利标题 ：
均流装置及湿法清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122209157.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-13
授权号 ：
CN216149461U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
左国军李雄朋庄海云
申请人 ：
创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 ：
深圳市康弘知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹彦
优先权 ：
CN202122209157.3
主分类号 ：
B01F25/452
IPC分类号 ：
B01F25/452 H01L21/67 B08B3/00
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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