插片清洗导片制绒一体机
授权
摘要
本申请公开了一种插片清洗导片制绒一体机,包括:顺次设置的插片单元、清洗单元、导片单元和制绒单元;所述插片单元,用于将待清洗及制绒的硅片插入花篮中;所述清洗单元,用于对所述硅片进行清洗;导片单元,用于对清洗过的所述硅片更换花篮;所述制绒单元,用于对清洗后并更换花篮的所述硅片进行制绒。上述方案可以降低设备生产成本及使用成本。
基本信息
专利标题 :
插片清洗导片制绒一体机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122250699.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-16
授权号 :
CN216648335U
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
连锦坤申朝锋胡滇建平飞林
申请人 :
隆基乐叶光伏科技(西咸新区)有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市西咸新区泾河新城泾干镇泾干二街215号
代理机构 :
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郭栋梁
优先权 :
CN202122250699.5
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18 H01L21/677 B08B3/08
法律状态
2022-05-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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