清洗单元及插片装置
授权
摘要

本实用新型涉及硅片清洗领域,尤其涉及一种清洗单元及插片装置,清洗单元包括:传送部,传送部用于带动硅片沿第一方向L运动;限位部,限位部用于限制硅片相对传送部移动;清洗部,沿第二方向W,清洗部布置于传送部的两侧,用于清洗硅片的表面;其中,传送部包括第一传送带和第二传送带;在清洗过程中,硅片与第一传送带配合时,第一传送带与硅片之间形成接触面,且硅片运动至与第二传送带配合时,接触面与第二传送带至少部分无接触配合,以使接触面在第二传送带位置的运动过程中,清洗部能够对接触面清洗。本实用新型提供的清洗单元及插片装置,能够使硅片具有较好清洗效果的同时,降低清洗时间,以提高清洗效率。

基本信息
专利标题 :
清洗单元及插片装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021509018.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-27
授权号 :
CN213103388U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
徐贻星毕喜行郭江涛汤琦
申请人 :
晶科能源股份有限公司;晶科绿能(上海)管理有限公司
申请人地址 :
江西省上饶市经济开发区晶科大道1号
代理机构 :
北京汇思诚业知识产权代理有限公司
代理人 :
苏胜
优先权 :
CN202021509018.1
主分类号 :
B08B1/02
IPC分类号 :
B08B1/02  B08B3/02  B08B13/00  H01L31/18  H01L21/67  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具,刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/02
运动中工件的清洁,如在传送装置上的成卷织物或物品
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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