一种镀层厚度自动控制装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种镀层厚度自动控制装置,涉及镀层技术领域,为解决现有技术中的现有的镀层厚度控制方式是通过对输出总量的调控,但这样的镀层容易出现厚度不均的情况,无法保障整个平面的厚度相同且达标的问题。所述磁控镀层箱设置在电源管理机箱的上方,且磁控镀层箱与电源管理机箱通过螺栓连接,所述磁控镀层箱的顶部设置有工艺气体储罐,且工艺气体储罐与磁控镀层箱组合连接,所述工艺气体储罐的顶部设置有真空阀口,且真空阀口与工艺气体储罐焊接连接,所述磁控镀层箱的两侧均设置有循环气泵模组,且循环气泵模组与磁控镀层箱通过螺钉连接,所述循环气泵模组的外侧设置有侧排回流管口,且侧排回流管口有多个。

基本信息
专利标题 :
一种镀层厚度自动控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122548001.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-22
授权号 :
CN216514100U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
范玉山杜丽芳
申请人 :
苏州德耐纳米科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中区甪直镇东庄路168号6幢
代理机构 :
苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张一鸣
优先权 :
CN202122548001.8
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  C23C14/54  C23C14/56  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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