可充电的多工位工件台系统
授权
摘要
本实用新型提供了一种可充电的多工位工件台系统,它包括基台、N个承片台和M个充电工位,N、M为大于0的自然数,所述充电工位设置有充电装置,每个承片台均设置有可充电的电池作为承片台的电源,所述充电装置用于对位于充电工位的承片台的电池充电。与现有技术相比,本实用新型提供的可充电的多工位工件台系统通过在每一个承片台上设置可充电电池作为承片台上用电设备的供电电源,所有传感器都采用无线传输方式进行信号传输,因此可实现去线缆化设计,尽可能的降低系统的复杂度,从而增大了承片台的运动范围,减少线缆扰动对设备的运动精度造成的影响。同时也可降低线缆散热可能带来的非接触式测量误差导致影响定位精度的风险。
基本信息
专利标题 :
可充电的多工位工件台系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122587920.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-26
授权号 :
CN216485980U
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
张利段宏宇金实田丽
申请人 :
北京华卓精科科技股份有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
代理机构 :
北京聿宏知识产权代理有限公司
代理人 :
吴大建
优先权 :
CN202122587920.6
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20 H02J7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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