一种配合晶圆托盘取放装置的托盘循环装置
授权
摘要
本实用新型公开一种配合晶圆托盘取放装置的托盘循环装置，包括输送面、设置在输送面上的取盘部和放盘部以及架设在取盘部和放盘部之间的循环输送装置，所述循环输送装置包括横跨架设在输送面上方的水平循环轨道和滑移连接在水平循环轨道上的托盘升降吸附机构，所述托盘升降吸附机构包括连接在水平循环轨道内的平移座和安装在平移座顶端的升降组件和吸盘组件，本实用新型的优点在于可以适配以托盘作为二级承载平台的晶圆输送流程，依托横跨架设在输送面上方的水平循环轨道实现了托盘升降吸附机构在取盘部和放盘部之间的往复运动，从而实现了将空托盘由取盘部运输到放盘部的动作需求。
基本信息
专利标题 ：
一种配合晶圆托盘取放装置的托盘循环装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122618826.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-29
授权号 ：
CN216189196U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
季林卞则军
申请人 ：
苏州博康智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区渭塘镇凤南路99号1栋2楼C区
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122618826.2
主分类号 ：
B65G47/91
IPC分类号 ：
B65G47/91 B65G41/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的，如吸盘、抓手装置
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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