镀膜载具用清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了镀膜载具用清洗装置，包括：基台(101)，支撑镀膜载具(105)；机械手部(102)，设置在所述基台(101)上；激光清洗头(103)，对所述镀膜载具(105)进行激光清洗，设置在所述机械手部(102)的末端，被所述机械手部(102)驱动；除尘部(104)，设置在所述激光清洗头(103)的激光发射端(103a)，对被所述激光清洗头(103)所清洗的所述镀膜载具(105)的膜层进行除尘。根据本实用新型一方面的镀膜载具用清洗装置，能够在对镀膜载具的表面进行精密的清洗的同时，减少对镀膜载具造成的损伤。
基本信息
专利标题 ：
镀膜载具用清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122621862.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-28
授权号 ：
CN216297390U
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
余仲陈厚模黎佐兴
申请人 ：
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
林明校
优先权 ：
CN202122621862.4
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B1/00 B08B5/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-04-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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