一种镀膜治具和镀膜装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种镀膜治具和镀膜装置，镀膜治具包括框体，所述框体具有四个侧边，所述侧边包括：侧边本体、由所述侧边本体向所框体内延伸的凸起，各所述侧边本体在所述凸起的一侧围成膜片空间，各所述凸起用于承接所述膜片空间内的膜片；所述侧边本体朝向所述膜片空间的一侧上形成第一斜面，所述膜片搭设在各所述凸起上时，所述膜片的边缘与所述侧边本体的第一斜面与之间形成间隙。膜片搭设在四个凸起上时，膜片的边缘与第一斜面之间形成间隙，在进行镀膜时，膜片边缘与第一斜面之间具有间隙便于真空镀膜的进行，提升膜片边缘的镀膜速率，进而提升膜片整体的镀膜质量。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜治具和镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021388589.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-15
授权号 ：
CN212800525U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
马奔希陈晨朱乾成周剑沈章大
申请人 ：
苏州迈为科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区经济开发区庞金路1801号庞金工业坊D02幢
代理机构 ：
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
唐清凯
优先权 ：
CN202021388589.4
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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