一种体微缺陷检测仪的测试机构
授权
摘要
本实用新型涉及硅片测试技术领域，公开了一种体微缺陷检测仪的测试机构，包括安装座、CCD相机、电动样品台、定位装置，定位装置位于CCD相机与电动样品台之间并垂直于CCD相机；定位装置包括滑轨，滑轨上滑动连接有两个滑座，每个滑座上均设有一个支架，支架顶部设有定位条，两个定位条位于同一水平线上并垂直于CCD相机。本实用新型在原有的测试机构上增设定位装置，实现对硅片解理面朝向的调整，保证CCD相机能够垂直于硅片解理面，提高测量数据的准确性，同时，测试点不会与定位条接触，大大降低定位条对硅片解理面测试点产生污染的几率，从而可以得到更好的重复性测试数据，提升测试结果的可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种体微缺陷检测仪的测试机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122624052.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-29
授权号 ：
CN216594812U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
胡浩晁明明黄燕秋张俊宝陈猛
申请人 ：
上海超硅半导体股份有限公司;重庆超硅半导体有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区鼎松路150弄1-15号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122624052.4
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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