一种离子束溅射沉积薄膜压力传感装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种离子束溅射沉积薄膜压力传感装置,包括喷射管道和外套,所述喷射管道外表面中间安装有滑槽,所述滑槽内表面中间位置处安装有外套,所述外套顶端中间位置处与低端中间位置处均设有装夹孔,两侧所述装夹孔内表面中间位置处通过密封环套接有压力传感器,所述外套外表面一侧中间位置处安装有齿轮台,所述喷射管道顶端一侧中间位置处安装有电机,所述电机输出轴末端位于齿轮台一侧位置处安装有齿轮。本实用新型解决了现有装置多采用单个压力传感器固定探测喷射压力,无法全方位探测喷射压力,探测精度不佳,且压力传感器拆卸较为不便,维护校准较为不便,实用性不佳的问题,提高了本实用新型的探测精度。

基本信息
专利标题 :
一种离子束溅射沉积薄膜压力传感装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122686533.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-04
授权号 :
CN216621546U
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
陆桥宏曹俊
申请人 :
江苏籽硕科技有限公司
申请人地址 :
江苏省泰州市医药高新技术产业开发区经济开发区创新创业产业园三期4号电子厂房1层、2层
代理机构 :
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
孙峰
优先权 :
CN202122686533.8
主分类号 :
G01L1/04
IPC分类号 :
G01L1/04  G01L7/02  G01L19/00  G01L19/08  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/04
通过测量量规的弹性变形,例如,弹簧的变形
法律状态
2022-05-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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