本实用新型公开一种磁控溅射沉积装置，包括室体，室体内设置有背板和支撑架，支撑架和背板连接，支撑架用于支撑背板，背板的一侧面设置有靶材，靶材用于对待镀膜的面板进行镀膜，背板和支撑架均设置有多个，多个背板沿面板的宽度方向间隔排布，支撑架设置在相邻两个背板之间，支撑架包括支撑板，支撑板设置在背板背离靶材的一侧面，且该侧面和背板的边缘连接，支撑板远离靶材的一侧面设置有加强结构。通过在室体内设置多个背板，可以以增加背板数量的方式来减小单个背板的尺寸，从而降低背板的安装难度；通过设置支撑板，支撑板可以对背板进行支撑，在支撑板上设置加强结构，可以提高支撑板的强度，减少支撑板的变形。