一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置

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摘要

本实用新型公开了一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，包括基座及主转轴，主转轴上固定设置有承载架，承载架一端设置有可径向转动的第一中间转轴及第一丝辊转轴，承载架另一端设置有可径向转动的第二中间转轴及第二丝辊转轴，第一中间转轴外端与基座之间设置有第一齿轮传动组件，第二中间转轴外端与基座之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴与第一丝辊转轴之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴与第二丝辊转轴之间设置有第四齿轮传动组件，第一丝辊转轴上设置有第一丝辊，第二丝辊转轴上设置有第二丝辊。该种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置具有结构简单、性能稳定可靠、加工效率高、加工质量好、丝材表面涂层一致性高等优点。

基本信息

专利标题：

一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922388200.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-26

授权号：

CN211595780U

授权日：

2020-09-29

发明人：

盛立远

申请人：

北京大学深圳研究院

申请人地址：

广东省深圳市高新技术产业园区南区深港产学研基地大楼东座五楼

代理机构：

深圳市深可信专利代理有限公司

代理人：

万永泉

优先权：

CN201922388200.X

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35 C23C14/56