一种石墨件表面沉积碳化硅涂层工艺

授权

摘要

本发明提供了一种石墨件表面沉积碳化硅涂层工艺，包括以下步骤：石墨件表面除杂、喷淋清洗、沉积反应以及石墨件冷却，本发明通过在反应釜内设置置物台，置物台上设置集液组件及可罩设在其上的喷淋组件，喷淋组件中环绕设置有与集液组件连通的冷却组件，并且在切换装置的作用下，喷淋组件和冷却组件在切换装置的引导下交替进行单独工作，使石墨件表面除杂和表面沉积在同一反应釜内完成，解决了现有技术中石墨件表面沉积需要在两个工位中进行导致石墨件转移过程中其表面易出现磨损进而影响沉积效果的技术问题。

基本信息

专利标题：

一种石墨件表面沉积碳化硅涂层工艺

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112225585A

申请号：

CN202011058293.0

公开（公告）日：

2021-01-15

申请日：

2020-09-30

授权号：

CN112225585B

授权日：

2022-05-20

发明人：

郭泰山林丽辉田斌

申请人：

中钢集团新型材料（浙江）有限公司

申请人地址：

浙江省湖州市雉城镇中钢大道9号

代理机构：

杭州西木子知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

韩燕燕

优先权：

CN202011058293.0

主分类号：

C04B41/87

IPC分类号：

C04B41/87 C04B41/91