LED芯片MOCVD工艺用碳化硅涂层石墨盘

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摘要

本实用新型涉及MOCVD设备技术领域，且公开了LED芯片MOCVD工艺用碳化硅涂层石墨盘，包括活动架，所述活动架的内壁固定连接有层板，所述层板的顶部固定连接有隔板，所述隔板顶部的左右两侧均螺纹连接有固定螺丝，所述隔板的内侧固定连接有托架，所述托架的内部固定连接有定位螺母，所述托架的顶部固定连接有立柱，所述立柱的顶部螺纹连接有定位螺丝，所述定位螺丝的外部套接有垫片。该LED芯片MOCVD工艺用碳化硅涂层石墨盘，通过拧紧定位螺母使石墨板固定在托架上，活动架在旋转的时候可以带动石墨盘旋转工作，盖上翻盖使限位块压住石墨盘，防止石墨盘受热形变而出现移动，同时可以避免石墨盘的外部和托架的内壁接触，防止在加热时出现受热不均的情况。

基本信息

专利标题：

LED芯片MOCVD工艺用碳化硅涂层石墨盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920409073.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-03-28

授权号：

CN209759639U

授权日：

2019-12-10

发明人：

马建军

申请人：

嵊州市西格玛科技有限公司

申请人地址：

浙江省绍兴市嵊州市仙岩镇个体工业集聚区

代理机构：

成都明涛智创专利代理有限公司

代理人：

王巍敏

优先权：

CN201920409073.4

主分类号：

C30B25/12

IPC分类号：

C30B25/12