利用溶液法在石墨件表面沉积碳化硅涂层的方法
公开
摘要
本发明涉及一种利用溶液法在石墨件表面沉积碳化硅涂层的方法，将石墨件进行超声清洗和氧等离子体表面处理；在坩埚内装入Si和Cr，Cr作为金属助溶液，将石墨件与提拉杆固定，并放置于真空腔室内，炉腔内充入高纯氩气气体并开启加热系统，进行加热，达到预定温度使金属助溶液融化；将石墨件下降至液面以下，石墨件按照15‑30r/s的转速与40‑120μm/h的提拉速度进行运动，坩埚按相反方向转动；在此过程中实现石墨件的涂层沉积；沉积结束后，将石墨件拉离液面，缓慢降温后即生长过程结束。该方法获得的涂层具有更高致密度，高纯度，高均匀性，与石墨附着力更强，涂层厚度可在1μm‑500μm，且成本更低。
基本信息
专利标题 ：
利用溶液法在石墨件表面沉积碳化硅涂层的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114292129A
申请号 ：
CN202111515685.X
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
胡章贵郭小娟陈建丽徐永宽
申请人 ：
天津理工大学
申请人地址 ：
天津市西青区宾水西道391号
代理机构 ：
太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张宏
优先权 ：
CN202111515685.X
主分类号 ：
C04B41/87
IPC分类号 ：
C04B41/87
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C04
水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料
C04B
石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷；耐火材料；天然石的处理
C04B41/00
砂浆、混凝土、人造石或陶瓷的后处理；天然石的处理
C04B41/80
仅对陶瓷的
C04B41/81
涂覆或浸渍
C04B41/85
用无机材料
C04B41/87
陶瓷
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
