一种制备全沉积高性能碳化硅涂层的装置

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摘要

本实用新型公开了一种制备全沉积高性能碳化硅涂层的装置，包括沉积箱，气体箱，所述沉积箱的水平方向内表壁固定安装有限位块，两个所述限位块的内部开设有通槽，两个所述通槽的内部分别设置有丝杆一和丝杆二。本实用新型中，通过丝杆一、丝杆二、限位块、丝块的设置，利用丝杆一的转动带动齿轮盘一转动，齿轮盘一的转动通过齿轮盘三带动齿轮盘二转动，齿轮盘二的转动带动丝杆二转动，丝杆一和丝杆二的转动带动丝块在通槽内部上下移动，丝块的上下移动带动环形托盘在沉积箱内部上下运动，从而使得产品在沉积箱内部动态沉积，提高了沉积效率，增加了沉积设备的产能。

基本信息

专利标题：

一种制备全沉积高性能碳化硅涂层的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922155202.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-05

授权号：

CN211035253U

授权日：

2020-07-17

发明人：

黄晓峰黄子丹

申请人：

昊石新材料科技南通有限公司

申请人地址：

江苏省南通市南通高新区金源路111号

代理机构：

郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

郭尊言

优先权：

CN201922155202.4

主分类号：

C01B32/956

IPC分类号：

C01B32/956