通过原子层沉积而沉积的铪铝氧化物涂层
公开
摘要
本揭露内容的实施方式涉及制品、涂覆的制品以及用耐腐蚀涂层涂覆这些制品的方法。耐腐蚀涂层可以包括铪铝氧化物。可以通过例如原子层沉积的非视线性沉积来沉积耐腐蚀涂层。可涂覆的制品可包括腔室部件，例如气体管线。
基本信息
专利标题 ：
通过原子层沉积而沉积的铪铝氧化物涂层
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114586131A
申请号 ：
CN202080073283.6
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-10-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
大卫·芬威克詹妮弗·Y·孙周政玄贺小明
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202080073283.6
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C16/455 C23C16/40
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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