本实用新型提出一种原子层沉积设备和原子层沉积监测系统，其中，原子层沉积设备包括一腔体，所述腔体内设有基材载台，用于放置待镀膜的晶圆。所述腔体的底部开设有抽气口，所述抽气口外接有第一抽气泵，用于将腔体内的前驱物或冲洗气体抽出。所述腔体内还设有至少一个喷头，所述喷头外接管路，所述管路连接前驱物的储蓄瓶和冲洗气体的储蓄瓶，所述储蓄瓶与管路之间设有开关阀，打开对应的开关阀，即可向腔体内充入前驱物或冲洗气体。所述前驱物至少有两种，且至少一种前驱物对应的开关阀设有阀门开关感应器，通过阀门开关感应器采集对应的开关阀的开关次数，通过与预设的次数对比，即可判断镀膜厚度的误差大小，从而对镀膜厚度进行补正。