一种具有防沉积结构的薄膜传感器
授权
摘要
本实用新型提供一种具有防沉积结构的薄膜传感器，属于薄膜传感器技术领域，包括：传感器本体，具有用于与待测腔连通的入口管；静电吸附装置，设置在所述入口管处，以适于在所述入口管处形成静电吸附场；本实用新型的薄膜传感器，在传感器入口管处设置静电吸附装置，通过静电吸附原理，可以在保证待测腔与传感器膜片完全无阻挡连通的情况下，将污染物或者颗粒物吸附到入口管壁上，从而防止膜片污染，产生零点漂移；因此，既能有效的防止颗粒物沉积到薄膜上，又能精确测量待测腔体的真实压力值。
基本信息
专利标题 ：
一种具有防沉积结构的薄膜传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020256592.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-03
授权号 ：
CN211838489U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
张心强陈林
申请人 ：
中科九微科技有限公司
申请人地址 ：
四川省南充市顺庆区潆华北路四段299号中科九微科技有限公司
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
秦广成
优先权 ：
CN202020256592.4
主分类号 ：
B03C3/40
IPC分类号 ：
B03C3/40 B03C3/34 G01L1/14 G01L9/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B03
用液体或用风力摇床或风力跳汰机分离固体物料；从固体物料或流体中分离固体物料的磁或静电分离；高压电场分离
B03C
从固体物料或流体中分离固体物料的磁或静电分离；高压电场分离
B03C3/00
用静电效应从气体或蒸气中分离弥散颗粒
B03C3/34
结构零件或附件或其操作
B03C3/40
电极结构
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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