半导体超声波扫描设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种半导体超声波扫描设备，包括：水槽；架设于所述水槽内的样品台；安装于所述水槽上并位于所述样品台下方的超声波震棒；与所述超声波震棒连接并设于所述水槽外侧的控制盒；靠近所述水槽设置的超声波探头。本实用新型利用超声波震棒消除半导体产品表面的气泡，以避免对后续超声波检测产生影响，相比于人为清除气泡，超声波震棒能够提高检测效率，还不需要人为的再次确认是否有气泡。另外，利用超声波震棒进行超声波震荡时，能够让产品内部的层间连接不牢固脱离开，让存在质量隐患的产品将缺陷显现出来，便于超声波探头检测出，从而提高了产品的检测效果。
基本信息
专利标题 ：
半导体超声波扫描设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122704621.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-05
授权号 ：
CN216696166U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
姜开飞黄宛明魏冬朱立海
申请人 ：
青岛泰睿思微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市即墨市服装工业园孔雀河三路56号
代理机构 ：
上海唯源专利代理有限公司
代理人 ：
宋小光
优先权 ：
CN202122704621.6
主分类号 ：
G01N29/04
IPC分类号 ：
G01N29/04 G01N29/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N29/00
利用超声波、声波或次声波来测试或分析材料；靠发射超声波或声波通过物体得到物体内部的显像
G01N29/04
固体分析
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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