本实用新型涉及一种防护装置、驱动设备、扫描设备以及半导体机台；半导体机台包括承载器和扫描设备，扫描设备设置在承载器的一侧；扫描设备包括驱动设备、连接板和传感器，传感器设置在连接板上；驱动设备包括气缸和防护装置；防护装置的盖子与气缸的缸筒可拆卸连接，且盖子的内腔开口朝向缸筒，以阻挡活塞杆与缸筒连接的部位漏气产生的杂质；气缸的活塞杆伸出缸筒并进一步穿过盖子与连接板固定连接，以驱动连接板靠近或远离承载器，且传感器在连接板靠近承载器时可探测承载器上的半导体基底。本实用新型的优点是，在气缸漏气时，通过防护装置阻挡漏气产生的杂质，从而保护产品质量和产品安全，尤其是避免对清洗过后的晶圆的影响。