一种弧壁研磨装置
授权
摘要
一种弧壁研磨装置，包括调节机构，调节机构设有一对夹持机构，调节机构的两侧均设有研磨机构，调节机构用于调节夹持机构之间的间距，夹持机构用于晶圆盘的夹持，并带动晶圆盘进行转动，以使研磨机构对晶圆盘的弧壁进行打磨，本实用新型在进行晶圆盘加工时，方便对晶圆盘的外壁进行打磨操作，在对晶圆盘的弧壁打磨时，能够确保晶圆盘夹持的稳定性，同时在带动晶圆盘转动时，能够确保晶圆盘转动的稳定性，显著地提高了晶圆盘打磨的质量，具有较强的实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种弧壁研磨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122726418.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-09
授权号 ：
CN216179010U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
周汉知李晶
申请人 ：
四川绿然科技集团有限责任公司
申请人地址 ：
四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道88号
代理机构 ：
成都诚中致达专利代理有限公司
代理人 ：
吴飞
优先权 ：
CN202122726418.9
主分类号 ：
B24B5/04
IPC分类号 ：
B24B5/04 B24B5/50 B24B41/06 B24B47/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B5/00
为磨削工件旋转面设计的机床或装置，还包含磨相邻平面；及其附件
B24B5/02
带有夹持工件的顶尖或卡盘的
B24B5/04
用于磨削圆柱形外表面
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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