一种半导体晶圆检测用检测精准且高效的视觉检测机
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体晶圆检测用检测精准且高效的视觉检测机，包括底座、第一滑槽、第一电动推杆、支撑座、第一滚轮、顶座、活动槽、伸缩杆、滑动块、安装座、检测摄像头、补光灯、齿条、驱动机构、工作台、支撑块和控制器，所述底座顶部的右侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽内壁的后侧固定连接有第一电动推杆。本实用新型通过底座、第一滑槽、第一电动推杆、支撑座、第一滚轮、顶座、活动槽、伸缩杆、滑动块、安装座、检测摄像头、补光灯、齿条、驱动机构、工作台、支撑块和控制器配合使用，能够对晶圆的表面进行全方位的检测，无需工作人员不断的调整晶圆的位置，省时省力，极大提高了检测效率。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体晶圆检测用检测精准且高效的视觉检测机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122728670.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-09
授权号 ：
CN216410248U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
魏引萍
申请人 ：
上海哲谦应用科技有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区春东路508号2幢406室
代理机构 ：
安徽盟友知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
樊广秋
优先权 ：
CN202122728670.3
主分类号 ：
G01D21/00
IPC分类号 ：
G01D21/00 G01D11/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D21/00
未列入其他类目的测量或测试
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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