本实用新型公开了一种高精度直线伺服驱动模组，涉及直线伺服驱动模组技术领域。本实用新型包括基座本体，基座本体的一侧设置有导向轨，导向轨内设置有滑块，滑块与导向轨滑动连接，基座本体内分别设置有定子和动子，基座本体的另一侧设置有位置回馈系统，基座本体的一端设置有侧盖，侧盖内设置有防撞器。本实用新型提供一种直接的直线驱动模组，采用高能稀土磁铁，通过电磁场激励作用，迅速转化成动能，具有高加速能力，使得它成为高速点对点运动的理想选择，配合光栅纳米级高分辨率位置反馈系统，达到高水平定位分辨率和精度，能实现高速，高精度的高效运行，可根据需要拼接成各种不同形状，不同尺寸的运行轨迹，灵活多变。