一种测试半球谐振子Q值的真空装置
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摘要
一种测试半球谐振子Q值的真空装置，工作台的下部设置有分子泵和机械泵，工作台的上部设置有真空罩，真空罩内部还设置有伺服传动机构；真空罩的腔体通过波纹管连接分子泵的进气口，分子泵的出气口通过波纹管连接机械泵的进气口，机械泵的出气口通过波纹管连接外界大气；每次对真空罩抽真空时，先开机械泵预抽分子泵，然后再开分子泵，实现对真空罩抽真空。本实用新型通过计算真空室负载，优化了真空腔体的体积，可以使真空泵在有效的最短时间内完成真空室的抽排，达到工作所需要的真空条件，提高了工作效率，减小了真空泵的工作时间，同时也延长了整体系统的寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种测试半球谐振子Q值的真空装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122819594.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-17
授权号 ：
CN216348673U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
赵明
申请人 ：
西安航晨机电科技股份有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市国家民用航天产业基地神舟四路239号航创国际广场C座4层406室
代理机构 ：
北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤镇宇
优先权 ：
CN202122819594.7
主分类号 ：
G01C25/00
IPC分类号 ：
G01C25/00 G01H9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C25/00
有关本小类其他各组中的仪器或装置的制造、校准、清洁或修理
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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