本实用新型公开了一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，包括固线机构和感应机构，所述感应机构包括固定螺管、固定板、支撑柱以及光电传感器，所述光电传感器通过支撑柱固定于所述固定板上，所述固定板开设有通线通孔和操作槽，所述固定板螺纹连接于所述固定螺管内部，所述固定螺管螺纹连接于所述手臂的第一承载槽内的其中一个安装通孔内；所述固线机构包括至少一个固线滑块，所述固线滑块设置于所述手臂背面的滑槽内，所述光电传感器的导线通过通线通孔并穿过固线滑块。采用上述结构的一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，可以感应不同尺寸晶圆的有无，便于后期机械臂的控制，且结构简单，安装便捷。