一种自适应抛光头
授权
摘要
本实用新型公开了一种自适应抛光头,包括:固定座和设置在固定座下方的固定板,固定板下方设置有底板总成,固定板与底板总成之间夹设有密封膜,底板总成的底面设置有用于吸附晶圆的吸附垫。固定板与密封膜之间设置有第一加压区,第一加压区和底板总成之设置有用于连接底板总成的限位块,密封膜设置在限位块的下方;固定座的顶面向下贯穿至第一加压区设置有第一加压通道,固定板的顶面向下贯穿至第一加压区设置有调整座;调整座下方安装有调整柱,调整柱用于限位防止限位块和底板总成向下脱落;当限位块受力向上移动时,限位块将脱开调整柱的限位,令第一加压区与限位块的下方连通,从而将第一加压区的气体充入密封膜内,密封膜充气可膨胀。
基本信息
专利标题 :
一种自适应抛光头
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122828396.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-17
授权号 :
CN216265340U
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
杨兆明谢亚楠李晓峰
申请人 :
浙江芯晖装备技术有限公司
申请人地址 :
浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号内主办公楼3楼370室
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
张春辉
优先权 :
CN202122828396.7
主分类号 :
B24B37/10
IPC分类号 :
B24B37/10 B24B37/30 B24B37/34 B24B41/047 B24B55/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2022-04-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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