全自动大型晶圆UV擦除设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种全自动大型晶圆UV擦除设备,包括取片机械手以及位于取片机械手两侧的UV组件,所述UV组件从上到下设置有多个灯箱，每个灯箱中设置有UV灯，灯箱中靠近取片机械手的一侧设置槽口，所述取片机械手用于将晶圆通过槽口放入灯箱中，灯箱侧壁设置有散热孔；在UV组件以及取片机械手上方设置有空气净化装置，所述空气净化装置分别向UV组件以及取片机械手吹气用于防尘。本实用新型可同时对最多13pcs晶圆进行UV擦除，当对单组UV灯进行维修更换时，不影响其他灯组运行，维修简单。
基本信息
专利标题 ：
全自动大型晶圆UV擦除设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122992550.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-01
授权号 ：
CN216311348U
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
肖宇岳湘易涛王辉军
申请人 ：
域凯电子科技无锡有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新区无锡中关村软件园3号楼103室
代理机构 ：
北京挺立专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
余莹
优先权 ：
CN202122992550.4
主分类号 ：
G11C16/14
IPC分类号 ：
G11C16/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G11
信息存储
G11C
静态存储器
G11C16/00
可擦除可编程序只读存储器
G11C16/02
电可编程序的
G11C16/04
使用可变阀值晶体管的，例如，FAMOS
G11C16/10
编程或数据输入电路
G11C16/14
用于电擦除的电路，例如擦除电压开关电路
法律状态
2022-04-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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