一种花篮自动取放压杆机构布局
授权
摘要
本实用新型属于硅片加工设备技术领域，具体的说是一种花篮自动取放压杆机构布局，包括支撑架，所述支撑架顶端安装有压杆储料机构，所述压杆储料机构一侧设置有压杆送料机构，所述压杆送料机构顶端安装有压杆取放机构，所述压杆送料机构远离压杆储料机构的一侧安装有花篮定位机构；本实用新型通过将压杆存储放置在压杆储料机构内，通过压杆送料机构实现了对压杆储料机构内压杆的自动输送，在压杆送料机构将压杆输送到指定位置后，压杆取放机构将压杆自压杆送料机构内夹起后，再将压杆放置在硅片花篮上，从而实现了压杆的自动补料、自动安装的效果，通过这种方式布局可以有效的节约了设备的占地空间，同时自动化程度也高。
基本信息
专利标题 ：
一种花篮自动取放压杆机构布局
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123026933.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-03
授权号 ：
CN216719902U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵黄亚云
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123026933.2
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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