一种硅片上压滚轮组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片上压滚轮组件，包括特氟龙材质的滚轴，滚轴的轴向固定套设有特氟龙材质的轴套，轴套的径向上套设有上压滚轮且上压滚轮至少有三个并沿轴向并列套设在轴套上；滚轴的两端均设置有特氟龙材质的直齿圆柱齿轮；上压滚轮的材质为耐酸碱的改性聚乙烯，且上压滚轮接触硅片的径向表面两端均设置有弧形倒角。本实用新型能够在硅片经过时减少划痕的产生，同时增加的接触面积减少了压强，使得硅片表面的膜更不容易被破坏。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片上压滚轮组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123029780.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-03
授权号 ：
CN216563166U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
张淋许亚琴
申请人 ：
苏州普伊特自动化系统有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区临湖镇浦庄大道2988号3栋厂房一层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123029780.7
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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