本实用新型公开一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，包括：机架、安装在所述机架上的蒸发罐、与所述蒸发罐相连通的除雾器、与所述除雾器相连通的冷凝单元、与所述冷凝单元连接的抽真空单元、设置在所述蒸发罐上的加热件；所述蒸发罐内设置有蒸发腔，所述蒸发腔内设置有旋转管，所述旋转管上设置有螺旋推进器；所述机架上设置有用于驱动所述旋转管旋转地旋转驱动装置，所述螺旋推进器与所述蒸发腔的内壁接触，且所述螺旋推进器上设置有若干导流孔。本实用新型可实现药水废液蒸发过程中的搅拌，药水废液可从螺旋推进器上的导流孔内翻越，而螺旋推进器与蒸发腔的发热面之间的液体呈现湍流，提高了蒸发罐内的热交换效率，从而提高蒸发效率。