一种微细电路三光束激光刻蚀装置
授权
摘要
本申请涉及微细电路板刻蚀技术的领域，尤其涉及一种微细电路三光束激光刻蚀装置，其包括底座，底座上设有治具座，底座上设有用于调节治具座位置的调节机构，底座上连接有支撑块，支撑块上安装板，安装板位于治具座的上方，安装板上设有定位组件、实时检测组件、测距仪、高度补偿模组和控制单元，控制单元包括激光器和3D动态聚焦振镜，高度补偿模组通过测距仪测定光源距待刻蚀电路板表面的距离。本申请具有保证大范围加工时激光聚焦的位置精度和微细电路激光刻蚀的效率与质量的作用。
基本信息
专利标题 ：
一种微细电路三光束激光刻蚀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123111214.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
CN216531990U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
林金明林静李春山
申请人 ：
无锡锐玛克科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市高浪东路999号C1号楼二层
代理机构 ：
江苏无锡苏汇专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
沈彬彬
优先权 ：
CN202123111214.0
主分类号 ：
H05K3/06
IPC分类号 ：
H05K3/06 G01N21/95 G01B11/02
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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