一种碳化硅高温氧化激活炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种碳化硅高温氧化激活炉,包括氧化激活工艺室、工艺气体系统、真空及压力控制系统和控制中心，氧化激活工艺室包括加热器和工艺管，加热器和工艺管采用相同材质的耐高温材料，工艺气体系统至少包括主供气气路和辅供气气路，主供气气路用于向氧化激活工艺室输送Ar，辅供气气路用于向氧化激活工艺室1输送N2，本实用新型通过氧化激活工艺室内衬管、工艺管、承片架、舟架以及加热器采用相同材质的耐高温材料，保证氧化激活工艺室内的高洁净度，高温恒温区域中心和两端分别采用热电偶进行实时的温度控制和监测，保证高温恒温区域工艺温度的稳定性和一致性。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅高温氧化激活炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123166283.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
CN216738635U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
林佳继龙占勇罗迎春李洪
申请人 ：
深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
代理机构 ：
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
董世博
优先权 ：
CN202123166283.1
主分类号 ：
C30B29/36
IPC分类号 ：
C30B29/36 C30B23/00 C30B28/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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