本实用新型涉及碳化硅高温氧化设备技术领域，具体为一种碳化硅高温氧化装置，包括高温炉，所述高温炉的上方设有炉盖；所述高温炉的内部开设有高温腔，所述高温炉的圆周外壁靠近顶端处呈环形等间距的设有四个凸块，所述凸块上开设有螺纹孔；该碳化硅高温氧化装置通过设有的电热管，便于提高炉内温度并对氧化硅进行高温氧化处理，同时设有的搁置机构，便于放置氧化硅，此外通过设有的水冷机构，当该高温炉使用过后，使用人员可以通过该水冷机构，迅速带走高温腔内的温度，达到快速降温的目的，提高了工作效率，解决了现有的氧化硅高温氧化设备在使用后难以快速降温的问题。