一种应用于大幅面振镜平面尺寸标定的校正设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种应用于大幅面振镜平面尺寸标定的校正设备，包括安装平台，所述安装平台上部设置有XY轴驱动机构，所述XY轴驱动机构的驱动端设置有相机检测模块；所述安装平台上设置有测试平台，所述测试平台包括多个吸附模块，每个所述吸附模块均包括位于测试平台表面的多个吸附口，还包括与多个吸附口连接的气路，所述气路端部设置有气源连接口，本实用新型通过相机的图像采集，能够精确的抓取每个mark点的坐标，输出坐标文档；并且整个过程自动化程度高，大大节约了人工成本；整个测量过程时间短，大大节约了时间成本。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于大幅面振镜平面尺寸标定的校正设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123197343.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
CN216668590U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
朱小虎朱跃明杨海青
申请人 ：
苏州菲镭泰克激光技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市保税区新兴产业育成中心A栋409A室
代理机构 ：
苏州佳捷天诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
石俊飞
优先权 ：
CN202123197343.6
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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