一种颗粒状多晶硅杂质元素的检测采样装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种颗粒状多晶硅杂质元素的检测采样装置，属于多晶硅生产领域，本装置包括区熔炉(1)和设于区熔炉(1)中的采样装置，采样装置包括设于区熔炉(1)上部的移动上轴(2)、籽晶夹头(3)和籽晶(4)、设于区熔炉(1)下部的移动下轴(5)、颗粒硅载体(7)和颗粒硅(8)，以及设于籽晶(4)与颗粒硅(8)之间的加热线圈(9)；移动下轴(5)的下端与区熔炉(1)底部连接，移动下轴(5)的上端与所述颗粒硅载体(7)连接，所述颗粒硅(8)设置于所述颗粒硅载体(7)中；本实用新型所述颗粒硅载体(7)为高纯多晶硅柱，使用多晶硅载体替代传统的石英试管或坩埚，避免采样过程中的二次污染，保证检测的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种颗粒状多晶硅杂质元素的检测采样装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123246359.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-22
授权号 ：
CN216746915U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
陈斌安红军汪成洋张孝山史长岳都强甘易武宗冰
申请人 ：
亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海亚洲硅业半导体有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
申请人地址 ：
青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号
代理机构 ：
成都华风专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
张巨箭
优先权 ：
CN202123246359.1
主分类号 ：
G01N1/10
IPC分类号 ：
G01N1/10 C30B13/14 C30B13/20 C30B13/28 C30B29/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样；制备测试用的样品
G01N1/02
取样装置
G01N1/10
液体或流体的
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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