本实用新型公开了一种微电子元件加工用转运装置，涉及微电子元件加工设备技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的外侧固定连接有步进电机，所述步进电机的输出端固定连接有第一链轮，所述第一链轮的外侧套有传动链条，本实用新型有益增效：设置有步进电机、第一链轮、固定框和滑板，实现了自动化转运操作，降低了人工劳动强度，设置有第一滑杆、缓冲弹簧和缓冲底盘，通过在固定柱内部开设有配合滑块使用的第一滑杆，提高了整体运行时的稳定性，通过安装有两个缓冲弹簧起到了防护缓冲效果，实现了对设备的防护，设置有第一滚筒、第一限位槽、第二滚筒和第二限位槽，从而实现了往复转运操作，满足了设备的正常使用。