石英环拆卸装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种石英环拆卸装置，用于拆卸晶圆承载盘上的石英环，包括：支撑单元，包括支撑柱及相互平行的第一平板和第二平板，所述支撑柱一端固定在位于晶圆承载盘外围的接地承载盘上，另一端贯穿所述第一平板，所述第二平板固定在所述支撑柱的一设定高度位置处，且所述第一平板位于所述第二平板之上；升降单元，包括固定于所述第一平板并贯穿所述第二平板的螺杆；吸附单元，包括连杆和真空吸盘，所述连杆的一端固定于所述第一平板，另一端贯穿所述第二平板并连接所述真空吸盘；其中，通过所述螺杆的旋转带动所述第一平板在所述支撑柱上进行升降运动，从而带动所述连杆及所述真空吸盘同步升降，进而实现对所述石英环的吸附和拆卸。
基本信息
专利标题 ：
石英环拆卸装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123343014.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
CN216634216U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
梁先根刘志攀
申请人 ：
广州粤芯半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
冯启正
优先权 ：
CN202123343014.8
主分类号 ：
B25B27/02
IPC分类号 ：
B25B27/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B27/00
不包含在其他类目中的，专门适用于有变形或无变形零件或物品的装配或分离的手动工具或台式设备
B25B27/02
用于连接或卸下靠压配合的物件
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
