一种晶圆甩干机
授权
摘要
本申请涉及甩干机技术领域,尤其是涉及一种晶圆甩干机,其包括滚筒、限位组件和甩干机主体,甩干机主体上开设有转动槽,滚筒与甩干机主体传动连接且于转动槽内转动,限位组件设于滚筒上;限位组件包括滑移轨、定轨、连接环和转盘,连接环和转盘分别固定连接于滚筒的两端,连接环位于靠近转动槽的槽口一端,滑移轨的两端分别滑移连接于连接环和转盘的相向侧壁上,定轨的两端分别与连接环和转盘的相向侧壁固定连接,滑移轨和定轨之间呈间隔设置。本申请具有通过调节上限位导轨的相对位置适应对两种尺寸不同的容置盒并进行限位,进而一台甩干机能够供两种尺寸不同的容置盒放入,不需要通过使用两种不同规格的甩干机进行甩干处理,使用方便的效果。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆甩干机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123455766.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
CN216620618U
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
李春阳高局彭祎任超
申请人 :
宁波芯健半导体有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市杭州湾新区庵东工业园区华兴地块中横路18号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202123455766.3
主分类号 :
F26B25/06
IPC分类号 :
F26B25/06
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B25/00
不包含F26B 21/00或F26B 23/00组中的一般应用部件
F26B25/06
室、容器或贮器
法律状态
2022-05-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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