芯片分选防错位方法、装置、终端及存储介质
实质审查的生效
摘要

本发明涉及半导体器件制造技术领域,尤其涉及一种芯片分选防错位方法、装置、终端及存储介质,本发明方法通过获取晶圆图像,对晶圆图像预处理后,通过预处理后的晶圆图像获得晶圆已取芯片的坐标以及未取芯片的坐标,通过坐标与MAP图比对,确定取下的芯片是否与MAP图的指示一致,因此,可以避免因晶圆在分选绷框导致行列间距不一致时,设备取出晶圆的芯片位置存在累计误差,导致误取的问题。该方法取芯片准确度高,当方法运行于计算终端时,可大幅提高处理速度,降低了人工确认、跟踪的过程,提高了劳动的效率。

基本信息
专利标题 :
芯片分选防错位方法、装置、终端及存储介质
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114359240A
申请号 :
CN202210017711.4
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郝永利闫志峰任超杰高群星
申请人 :
河北博威集成电路有限公司
申请人地址 :
河北省石家庄市鹿泉区开发区昌盛大街21号
代理机构 :
石家庄国为知识产权事务所
代理人 :
张一
优先权 :
CN202210017711.4
主分类号 :
G06T7/00
IPC分类号 :
G06T7/00  G06T7/10  G06T7/70  G06T7/90  H01L21/67  H01L21/68  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06T 7/00
申请日 : 20220107
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332