一种输入输出同向或反向的模块化差动柔性位移缩小机构
实质审查的生效
摘要
一种输入输出同向或反向的模块化差动柔性位移缩小机构，包括正向运动模块、反向运动模块和驱动器；正向运动模块的两端分别连接到反向运动模块的一端；本发明利用正向运动模块和反向运动模块的组合实现位移的差动叠加，可以得到大的位移缩小比，从而大幅提升运动的分辨率和精度；本发明可以与宏动平台配合，实现大范围、超高精度的运动定位。
基本信息
专利标题 ：
一种输入输出同向或反向的模块化差动柔性位移缩小机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114280899A
申请号 ：
CN202210026771.2
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2022-01-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈贵敏李玲玲吴厚旗
申请人 ：
西安交通大学
申请人地址 ：
陕西省西安市咸宁西路28号
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
贺小停
优先权 ：
CN202210026771.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20220111
申请日 : 20220111
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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