本发明涉及清洗剂领域，具体为一种半导体精密电子部件清洗剂，包括：螯合剂、酸度调节剂、有机溶剂、无机溶剂、增溶剂、腐蚀抑制剂和水，本发明还提出了一种半导体精密电子部件清洗剂的制备工艺，步骤一：按照各个成分含量对应准备制备清洗剂的所需要的材料，将其放置在一旁备用；步骤二：将步骤一中所准备好的水进行过滤，然后将酸度调节剂、增溶剂分别加入到水中，进行手动搅拌混合均匀，然后再次进行过滤将其中的杂质去除掉；本发明的有益效果是：通过向半导体精密电子部件清洗剂中加入螯合剂可以有效提高清洗剂去除半导体精密电子部件表面颗粒的能力，且随着螯合剂成分的改变清洗剂的清洗能力也发生改变，有效的提高了清洗剂的清洗能力。