本发明公开了一种太赫兹真空电子器件输出窗口及其制作方法。其中，太赫兹波导器件的输出窗口，所述输出窗口设置于太赫兹波导器件的基管中，其包括由内至外设置的第一介质组件、中间介质层、第二介质组件，通过第一介质组件、中间介质层、第二介质组件使基管与大气隔离。本发明采用激光切割及研磨制作中间介质层和石英层、采用热拉伸法或注塑法制作塑料层，从而形成三层或以上的介质层与单层介质结构的输出窗口相比，太赫兹真空电子器件可获得更低的太赫兹波反射率，而且更低反射率所对应的频带宽度也更宽，适用于工作频率更高的真空电子器件。