本发明公开了用于深槽微加工的保形锐边平顶飞秒激光整形方法与装置；其中方法包括：采用扩束器对激光器发出的高斯光束进行扩充，获得扩充后的高斯光束；通过光束匀滑器将扩充后的高斯光束调整为超高斯平顶光束；采用硬边光阑对超高斯平顶光束进行切趾处理，获得矩形平顶光束；通过4f光学系统对矩形平顶光束进行等比例缩束成像，获得目标光斑；通过该方法能够有效解决飞秒激光加工中光束焦深短，光斑顶部光强不均匀，光斑边界过渡区较大的问题。