本发明提出一种探针组件进行热屏蔽的方法。包括：获得探针支架形状及大小、选择耐低温的反射薄膜、选择耐低温的隔离薄膜、制作包含纯铝膜的多层薄膜、裁剪多层薄膜、缝制多层薄膜、包覆形成热辐射保护套、安装各层电极和引线接地步骤。本发明解决了采用传统方法难以消除探针支架与针尖‑样品接触区域之间的热辐射问题，实现了探针支架的多层隔热，满足样品测量时针尖‑样品接触区域的温度稳定性。而且，因绝热多层包覆结构的热辐射防护作用，探针支架材料选择包括不限于传统的陶瓷，增加了灵活性。