一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，包括螺旋形的感应线圈、承载感应线圈的底座。所述底座包括旋转固定座及覆盖于旋转固定座上的旋转支座；所述感应线圈安装在旋转支座上，旋转支座旋转带动感应线圈沿感应线圈的中轴线旋转；通过调控感应线圈的旋转周期和旋转角度来控制感应线圈的磁场分布，从而调整温度场的分布。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114411264A
申请号 ：
CN202210063968.3
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李辉毛瑞川毛洪英丁柏松苏闻峰
申请人 ：
南京晶升装备股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
张弛
优先权 ：
CN202210063968.3
主分类号 ：
C30B35/00
IPC分类号 ：
C30B35/00 C30B29/36
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B35/00
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 35/00
申请日 : 20220120
申请日 : 20220120
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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