一种碳化硅长晶的加热装置
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种碳化硅长晶的加热装置,包括石墨坩埚和套设于石墨坩埚外侧的感应线圈,还包括恒流源,所述恒流源为感应线圈提供恒定电流,所述石墨坩埚底部设置回流石墨排和导电连接杆,所述导电连接杆固定连接于石墨坩埚底部中心,并向下竖直延伸,导电连接杆另一端连接有电机,电机带动驱动导电连接杆转动从而带动石墨坩埚旋转,所述回流石墨排一端与石墨坩埚底部电连接,另一端与导电连接杆侧面电连接。外部线圈通过恒定电流,恒定电流产生恒定磁场,不会加热外部金属结构,可使设备设计制造更为紧凑,降低能耗,消除对电器件的干扰;感应线圈只起到产生恒定磁场的作用,降低了对感应线圈电源的要求。

基本信息
专利标题 :
一种碳化硅长晶的加热装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114411256A
申请号 :
CN202111672628.2
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李辉王守琛毛瑞川
申请人 :
南京晶升装备股份有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧
代理机构 :
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
张弛
优先权 :
CN202111672628.2
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36  C30B23/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/36
申请日 : 20211231
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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