一种长晶装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本申请公开了一种长晶装置,属于半导体材料领域。该长晶装置的保温层包括至于坩埚上方的上保温层组,上保温层组设置测温孔,上保温层组包括共中心轴的第一上保温层和第二上保温层,第一上保温层设置第一开口,第二上保温层设置第二开口,测温孔使坩埚内形成盛放原料的低温区和设置籽晶的高温区;包括旋转调节机构,旋转调节机构旋转第一上保温层和/或第二上保温层,以调节第一开口和第二开口形成的测温孔的横截面积大小,进而调节长晶过程中坩埚内轴向温度梯度和径向温度梯度。该长晶装置不仅可以调节生长单晶的生长腔内径向温度梯度;并且可以在降低径向温度梯度的同时,可以保证具有一定的轴向温度梯度,而可以高效率的制得高质量的单晶。
基本信息
专利标题 :
一种长晶装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922422271.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-26
授权号 :
CN211497866U
授权日 :
2020-09-15
发明人 :
方帅高宇晗高超李霞宁秀秀王路平张九阳王宗玉杨晓俐潘亚妮舒天宇
申请人 :
山东天岳先进材料科技有限公司
申请人地址 :
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 :
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王宽
优先权 :
CN201922422271.7
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36 C30B23/00
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2020-12-25 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C30B 29/36
变更事项 : 专利权人
变更前 : 山东天岳先进材料科技有限公司
变更后 : 山东天岳先进科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 250100 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
变更后 : 250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 山东天岳先进材料科技有限公司
变更后 : 山东天岳先进科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 250100 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
变更后 : 250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
2020-09-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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