一种长晶炉稳压供气装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种长晶炉稳压供气装置，该长晶炉稳压供气装置，包括气源；与气源相连的主气管；多个连接于主气管上的支气管，每个支气管上设有第一减压稳压阀；稳压系统，所述稳压系统包括连接于气源和靠近气源的支气管之间的第一气瓶，所述第一气瓶设于主气管上，所述第一气瓶的进气管道上设有增压阀，所述第一气瓶的出气管道上设有第二减压稳压阀。该长晶炉稳压供气装置，可以在一根主管道尽量控制多台设备情况下，尽量降低成本，并尽量保证每一个设备之间气相稳定，减少设备之间的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种长晶炉稳压供气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022221472.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213394635U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
吴殿瑞李博裴卫博
申请人 ：
山东天岳先进科技股份有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 ：
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
冯妙娜
优先权 ：
CN202022221472.3
主分类号 ：
F17D1/02
IPC分类号 ：
F17D1/02 F17D3/01 F17C7/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/02
用于气体或蒸气的
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
